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2022/1/20 16:45

英特尔采购最强光刻机 台积电将跟进下单

C114通信网  南山

C114讯 1月20日消息(南山)据台媒报道,英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机,为业界首家。这台光刻机型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200,是业界最强的光刻机,此刻尚未面世。

据悉,台积电此前已经向ASML采购High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000,预计在今年内会跟进下单High-NA量产型EUV光刻机。

此前,英特尔确定自己是ASML的High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000的第一个买家。

据ASML透露,High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000将在2024年前出货,在手订单已达5台。量产型EUV光刻机EXE: 5200将在2024年推出,支持客户的后续量产计划。这款光刻机瞄准了2025年后晶圆制造的最新工艺节点,例如2nm工艺。

英特尔期望能在晶圆制造领域超过龙头台积电。与此同时,英特尔还大量采用台积电的晶圆代工服务,预期未来几年会成为台积电的大客户之一。

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