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2023/1/11 10:15
SK海力士为半导体工艺引入AI解决方案
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据悉,SK海力士日前表示,其已开始通过在半导体工艺中引入人工智能 (AI) 解决方案来提高生产效率和良率。

SK海力士投资的AI公司Gauss Labs在去年11月推出一种名为“PanoPtesVM(虚拟仪器)”的虚拟计量方案,并在去年12月在引入半导体制造并量产。

据悉,Panoptes VM方案涉及芯片上覆盖薄膜的关键工艺,即将计算方案引入薄膜沉积工艺,利用传感器数据预测制造过程的结果。据悉,薄膜厚度和折射率与半导体质量直接相关,但在薄膜中测量需要大量的时间和资源,难以测量。消息指出,半导体工艺引入的Panoptes VM,可使良率平均提高了21.5%。

SK海力士制造和技术副总裁金永式表示:“我们与高斯实验室的合作致力于实现更智能化的智能工厂,我们将在整个半导体开发和生产中融入人工智能技术,确保技术优势。”

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