C114讯 1月21日消息（南山）近日，英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机，为业界首家。这台光刻机型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200，是业界最强的光刻机。
据悉，由于台积电、三星、英特尔三大巨头在晶圆制造领域的竞争，导致EUV光刻机需求大增。同时，这款瞄准下一代3nm/2nm级别工艺的High-NA量产型EUV光刻机，堪称天价。
台湾媒体消息称，英特尔预定的这台光刻机，价格达到3.4亿美元，是历史上最昂贵的光刻机。
前一代设备High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000，也达到了3亿美元一台。
作为对比，ASML当前商用出货的高端EUV光刻机报价约为1.5亿美元一台。
2022年，台积电、三星、英特尔均大幅提升资本开支，其中台积电资本开支预计达到400亿~440亿美元。从核心设备光刻机的价格来看，不是没有原因的。台积电今年仍大举采购EUV光刻机，也已经下单了High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000。 
