C114讯 10月31日消息（安迪）从运动检测，到环境感知，以及压力测试等等，以加速度计、陀螺仪、压力传感器等为代表的MEMS（微机电系统）传感器正扮演着越来越重要的角色，MEMS早已渗透到人们生活的方方面面，尤其在消费电子领域广泛应用。

“但是随着智能手机增长进入饱和期，而车联网、智慧工业、智慧农业等物联网应用迅猛发展，我们看到了MEMS的下一次发展机会——从消费电子转向汽车和工业市场。”意法半导体大中华暨南亚区模拟和MEMS产品部市场总监吴卫东表示，这些新兴领域对MEMS既是机会，同时也是挑战。

意法半导体大中华暨南亚区模拟和MEMS产品部市场总监 吴卫东

据吴卫东介绍，MEMS分为两部分：一部分是传感器，例如加速度计、陀螺仪；另一部分是致动器。意法半导体是同时拥有上述这两项技术的半导体厂家，因为作为一个IDM的半导体公司，意法半导体拥有完整的研发和生产，我们的技术能够支撑我们既做传感器、也可以做致动器。

作为消费电子MEMS传感器市场的主要供应商，意法半导体MEMS传感器已经在手机、平板电脑以及可穿戴设备上广泛应用。例如，华为手机采用意法半导体的内置OIS光学防抖传感器的6轴惯性测量单元；任天堂Switch主机和配件采用意法半导体的6轴运动传感器；迪卡侬手表等可穿戴设备采用意法半导体的MEMS器件；eMeet会议扬声器采用了MP34DT04TR数字麦克风等。

虽然在消费电子市场MEMS传感器领域获得了巨大成功，但随着消费电子领域的MEMS传感器市场增幅放缓，寻找MEMS的下一次发展机会成为当务之急。吴卫东认为，随着车联网、智慧工业、智慧农业等物联网领域的迅猛发展，将为MEMS市场带来新活力。

测量精度是车用及工业MEMS传感器面临的一个巨大挑战，提高精度的同时，如何保持低功耗也是另一巨大挑战。“为此，意法半导体在传感器的测试和校准技术以及制程等方面进行了很多改进。”吴卫东指出，为了让意法半导体MEMS传感器符合智能驾驶需求，意法半导体也在推动ADAS（高级驾驶辅助系统）与传感器数据的整合，以及航位推算与传感器数据的整合；在MEMS微镜方面采用磁性双轴和静电谐振技术，并在MEMS麦克风车载设备方面有较大突破。

吴卫东举例称，在汽车应用领域，以导航加载的GPS为例，GPS的信号有强有弱，MEMS传感器的功能是辅助GPS，覆盖GPS盲区。这种情况下，传感器就要有好的精度，整个系统的精度需要达到米级别，需要对传感器有很好的控制。意法半导体的MEMS提供sensor信号单元，当整个系统没有GPS、导航信号时，完全通过sensor来做到。除了硬件本身，算法方面，我们已经有相应的成功方案。

据吴卫东介绍，MEMS sensor也有很多解决方案是针对汽车的应用，例如惯性导航系统方面，包括车规三轴加速度计AIS328DQTR+三轴陀螺仪A3G4250DTRIHS等；意法半导体还推出了型号为AIS2DW12的超低功耗3轴智能加速度计，采用 2x2x0.7 mm 封装，这是一款汽车级产品，可以用于汽车无钥匙进入功能。

智慧工业领域，意法半导体推出了智慧工业运动传感器、环境传感器等，例如激光测距仪，LIS2DH12TR用于倾斜检测。

作为首个采用200mm晶片生产微机电系统产品的主要MEMS厂商，意法半导体MEMS传感器出货量已超过130亿片。吴卫东表示，意法半导体还做出10年生命周期承诺，即产品生命周期从产品上市日期起十年，保证高性能、高质量，即使在恶劣的工业环境中依然表现出色。

传感器的应用也在经历又一次轮回。“MEMS传感器始于汽车和工业领域，但近十年真正推波助澜的是消费类电子市场。现如今，MEMS的下一波浪潮将重新回到汽车和工业市场。”吴卫东表示，我们需要好好把握MEMS的下一次发展机会——从消费电子转向汽车和工业市场。