随着太赫兹(THz)技术的蓬勃兴起,中电科思仪科技股份有限公司(以下简称思仪科技)依托在电子测试测量领域的坚实基础,构建了适用于毫米波与太赫兹频段多形态材料的电磁参数测试解决方案。该解决方案可用于材料介电常数、磁导率、透波率等参数测试。所需被测件尺寸小,测试精度高,频率可分段覆盖18GHz~500GHz,选配相应选件可实现对薄膜、液体、粉末、多层材料等多类型材料的电磁参数测试。材料被测件制备要求及测试参数详见附表。
图1 波纹传输线法构建材料电磁参数测试解决方案
基于波纹传输线测试方法的材料电磁参数测试解决方案,如图1,设备操作简单,软件自动控制测试仪器采集信号,利用测量信息及算法运算得到被测材料的电磁参数。图2为波纹传输线系列的相关定制夹具(区分不同波段)。
图2 波纹传输线系列夹具
特殊场景应用案例:
除满足片状固体材料电磁参数测试需求,材料电磁参数测试解决方案已实现多种类、多形态特殊材料测试,包括:
1.薄膜材料的介电常数测试
薄膜材料因其独特的物理、化学性质,在高频电子器件中得到了广泛应用,高频下其介电常数测试手段有限。本方案可对薄膜材料进行测试,以0.1mm玻璃钢薄膜材料为例,采用本方案测试结果如图3。
图3 玻璃钢材料测试结果
2.多层材料的介电常数测试
本方案支持对多层材料的其中一层材料电磁参数测试。对于柔性材料、生物组织等软质材料,可使用定制夹具将其两侧固定,从而形成多层材料再进行测试,本方案也可对透明基底(如石英、硅)上沉积薄膜形成的多层材料电磁参数进行测试。图4展示了以特氟龙作为夹层的多层材料介电常数测试结果和直接测试单层特氟龙的结果,结果显示二者介电常数最大差值为1.9%。
图4 两种情形特氟龙材料测试结果
3.粉末材料的介电常数测试
粉末材料已经广泛应用于吸波材料、柔性电子器件、可调谐超表面等太赫兹材料和器件中。本方案支持粉末材料介电常数测试功能,需配置相匹配的套件(含校准件和材料容器等)。需要说明的是,本套件可以扩展应用至液体材料。如图5,为石英粉材料测试结果。