据电子时报消息，中国台湾半导体设备制造商蔚华科技（Spriox）宣布投资原子探针制造商埃尔思（ALES Tech），签署了在中国大陆独家经销“纳米探针”“微米探针”的合同。自2023年7月起，蔚华科技的目标便是打入中国大陆的半导体和面板市场。
蔚华科技还将帮助ALES加快研发和推出气场离子源聚焦离子束（GFIS-FIB）设备。这是先进半导体工艺中，用于进行故障分析检测和电路修复的关键技术。
埃尔思董事长张维哲博士表示，公司的核心成员来自中国台湾中央研究院物理研究所的一个团队。他们的主要工作是利用自己的专利生产单原子探针，这能够以极高的电流密度和极小的光源实现各种惰性气体离子的发射。
埃尔思的目标是构建其单原子探针技术，以便能够在极小规模的FIB设备上进行晶圆缺陷检测和IC电路修复，这通常被认为是填补10nm一下制程半导体工艺在线质量检测技术空白的最佳方法，此外也是快速验证新集成电路设计架构正确性的最佳方法。
通过蔚华科技的资源支持和资金投入，埃尔思GFIS-FIB的研发可落地时间可以缩短，以便尽快在市场上推广。
近年来，蔚华科技开始对其组织业务进行重大重组，从2020年第三季度到2023年第一季度，公司核心业务出现亏损。2022年，该公司先后出售了上海的子公司Maximo、合肥的蔚思博检测技术有限公司，此外退出快速消费品和集成电路验证领域。公司将专注于设备分销和自产业务。
蔚华科技在2022年第三季度后实现盈利，2023年第一季度实现税后利润1.03亿元新台币。该公司上半年业务缩减，合并营收仅为7.23亿元新台币，同比减少20%。 
