在半导体工艺进入7nm节点之后，EUV光刻机成了关键装备，现在只有ASML一家能够生产EUV光刻机，主要客户也只有三家——台积电、Intel及三星。
由于供不应求，EUV光刻机也成为三家厂商争夺的焦点，不过Intel的7nm工艺要到2022年，所以现在有EUV生产线的主要是台积电、三星两家。
在这场竞赛中，台积电的EUV光刻机数量遥遥领先，据统计，ASML近年来一共量产了100台左右的EUV光刻机，其中供应给台积电的就有70台，占了绝大多数份额，多数都是在最近一年中交付的。
三星集团的掌门人李在镕去年专门拜访了ASML公司，希望获得更多的EUV光刻机供应，但缩短与台积电的差距依然需要很多努力。
对三星来说，尽管EUV光刻机售价超过1亿欧元，但三星并非买不起，与台积电在EUV光刻机上的差距并非资本投资决定的，而是台积电拉拢到了客户，包括苹果、AMD以及之前的华为，这是台积电扩充EUV生产线的关键。
相比之下，三星的EUV工艺客户太少，除了自家的Exynos芯片之外，主要就是高通了，NVIDIA、IBM虽然也找三星代工了，但还没有使用EUV生产线。 
