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2019/9/10 11:03

台积电:先进工艺对原物料就近供应需求变高,大陆材料业机遇到来

集微网  Oliver

9月10日,中国半导体材料创新发展大会在宁波北仑正式召开,台积电(南京)有限公司微影工程部副处长陈盈傑表示,先进工艺对于原物料就近供应的需求正变得越来越高,大陆半导体材料的机遇已经来到。

陈盈傑指出,台积电追逐先进制程的脚步不会停,研发工程师超过5000人,去年在新产品研发方面投入超过了28亿美元。

陈盈傑表示,追求卓越质量之道的源头就是原物料,半导体制程中如果半导体材料中的金属离子和其他聚合物产生聚合,就会变成杂质。如此一来,制程缺陷就会变多,所以不纯物ppt万亿分之一的时代已经来临。

从8英寸到12英寸,半导体原物料从200多项增加到了300多项,但制程规格大幅减缩。陈盈傑强调,这对就近供应的需求将会越来越高,不只是关乎价格的原因。

陈盈傑表示,台积电将品质控管延伸到了供应商端,发现关键原物料如果能够就近生产,那么运输和存放所消耗的时间就更少,聚合效应就会得到很好的控制。混合酸和光刻胶等材料从生产到使用的时间很短,就近供应从成本等方面来说都是最好的选择。

最后,陈盈傑呼吁,未来有更多资源,投入到高规格的晶圆制造材料研发,来支撑高端集成电路制造。

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