据松江报报道，由上海福赛特智能设备有限公司独立研发的国内首款LED半导体晶圆倒片机今年量产，长三角G60科创走廊研发成果填补了行业空白。
该公司智能设备事业部副总经理刘纯君表示，此设备用在LED半导体外延工艺段，可实现晶圆从原料仓至PVD（物理气相沉积）工序之间以及PVD工序到MOCVD（金属有机物化学气相沉积）工序之间的周转。
值得注意的是，该报道指出，刘纯君也介绍说，这批设备是交付给三安集团的，三安集团作为国内LED晶圆制造业的龙头企业，对产品品质要求很高。
据悉，在福赛特推出此设备之前，这种周转主要通过人工操作完成。人工操作引入的污染会对产品品质产生很大影响，因为人为失误造成的产品或载具损伤浪费不小。而且，人工操作和周转中断了设备信息流和数据流，不利于产品信息追踪及回溯。福赛特LED半导体晶圆倒片机的推出，解决了行业痛点。
此外，目前福赛特第一款设备LED半导体晶圆倒片机已经量产，PSS工艺段的第二款产品PSS自动上片机已经研制成功，目前该公司正与国内LED主设备龙头企业洽谈，拟合作研发嵌入式晶圆倒片模块，支持新一代国产MOCVD和PVD设备的研制。 
