据digitimes报道，美国智库CSET的报告显示，以5nm节点制造的12英寸晶圆成本约1.6988万美元，远高于7nm节点制造的相同规格9346美元的成本。若使用600平方毫米晶粒(大小约相当于NVIDIA RTX 3080和3090所使用的GA102 GPU)，7nm和5nm节点每个芯片成本分别约233美元和238美元。
Tech Spot报道指出，5nm芯片成本更高除了因为其是新产品外，另一个重要原因是需要特殊的处理，5nm芯片重度仰赖极紫外光(EUV)技术，每台EUV机器要价1.2亿美元，昂贵的设备推高了成本，而且每一片5nm晶圆可能需要14层以上EUV光罩。
根据官方数据，相较于7nm（第一代DUV），5nm芯片能够提供1.8倍的逻辑密度、速度提升15%，或功耗降低30%。而且5nm节点据称也有较好的良率，基于这些优点，尽管台积电5nm芯片造价不斐，市场需求仍旺盛。
此前供应链透露，AMD、英伟达、联发科、高通与苹果即将迎来出货旺季，已陆续加大5nm订单。台积电5nm目前由每月5万片逐步提升，原定2021年上半8万~9万片月产能目标，近日已上调至10.5万片。 
